CVD処理の概要

CVD（Chemical Vapor Deposition)とは気相から固相を析出する過程において、化学反応があるので、真空蒸着などの物理着と区別して提案された名称です。
酸化物、炭化物、窒化物などの幅広い物質を析出させることが出来ます。工具や金型及び機械部品の寿命を延長する目的で、広い分野に使用されています。